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在不久的将来,我们将看到嵌入式ST澳门威尼l斯人网址T-MRAM (eMRAM)呈现在诸如物联网(IoT)、微节制器(MCU)、汽车、边缘运澳门威尼l斯人网址算和人工智能(AI)等利用中。美国EVERSPIN还供给了几种自力澳门威尼l斯人网址的MRAM产品,锁定包括航天、汽车、储存、工厂自动化、IoT、聪明能源、医疗和工业机械节制/运算等利用。

半导体工艺节制和支持技巧供货商KLA对MRAM作为一种新兴的NVM技巧的前景认为振奋,为IC制造商供给了一系列办理规划的组合,可赞助加速MRAM产品开拓,确保成功实现量产并在临盆中取得最佳良率。这些技巧办理规划包括:

应用散射丈量和成像的迭对量测系统进行图案对准(patterning alignment)量测,应用光学散射丈量CD和外形计量系统进行关键尺寸和3D组件外形丈量以及run time pattern澳门威尼l斯人网址ing control数阐发,以优化MRAM cell patterning 组件迭对、CD和外形。

应用光谱椭圆偏振(SE)技巧进行膜厚度和化学计量的丈量,这些技巧为MTJ迭层沉积供给了紧张的关键参数。

MRAM客栈沉积的电磁特点,可应用CAPRES电流平面穿隧(CIPTech)和MicroSense磁光Kerr效应,供给对估计的终极电池机能的早期反馈(MOKE)技巧。CAPRESCIPTech是一种12点探针电阻技巧,可在产品晶圆图案化之前,针对MTJ迭层进行沉积、退火和磁化后的TMR和RA丈量。MicroSense Polar Kerr MRAM (PKMRAM)则表征了磁机能,例如自由层和固定层的矫顽场,以及多层MTJ客栈在沉积、退火和在毯覆薄膜或有图案的晶圆上磁化。这种非打仗式全晶圆技巧可丈量自由层和固定层的澳门威尼l斯人网址磁性。

一系列控片和在线产品晶圆缺陷检测和检视系统(取决于灵敏度和采样要求),可以在线检测关键缺陷,赞助工程师发明并办理可能影响良率和组件机能的工艺问题。

In-situ process control wafers,透过在工艺反映炉中撷取和记录参数并用于可视化、诊断和节制工艺前提。

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